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傾斜センサー、加速度センサー慣性の原理を使用して、重力に関する苦情情報を提供できます。このセンサーは、さまざまな機器の状態を監視するアプリケーションで広く使用されています。

初期の傾斜センサーは厳密にはセンサーではなく、底にあるボールボールで構成された単なるスイッチです。デバイスの角度が傾くと、ボールは一定の限界を超えて底に転がり、ボードとの電気的接続によって指示信号が生成されます。その原理から、電気機械式傾斜スイッチと呼ぶことができます。

続いて、早期傾斜センサは、シールキャビティ内に抵抗またはコンデンサ液を含む。デバイスが傾くと、液体の流れが変化し、それによって内部回路の抵抗またはコンデンサが変化し、回路出力を介して直接監視されます。この時点で、傾斜センサーはすでに非常に正確で信頼性の高い傾斜データを提供できますが、センサー自体が外部干渉に対して非常に脆弱であり、応答速度が速くないという欠点があります。

MEMS に基づく傾斜センサーは、従来の液体技術センシングと比較されますが、応答速度と耐用年数の欠点は解決されていますが、MEMS 傾斜検出の課題は軽減されていません。傾斜センサーの機能や精度は、上図の「二重軸」など、さまざまな要因の影響を受けます。軸の選択は、特定のアプリケーションに従って選択する必要があります。シャフトの選択を誤ると、測定結果に大きな影響を与えます。その他の要因には、温度、傾斜センサーのスケール、直線性、交差軸感度などがあります。

センサーの融合後の傾斜センサーは、動的条件下での加速度応答に対してより敏感ですが、「余分な」加速度の影響を受けません。MEMS傾斜センサーは、さまざまなインテリジェントアルゴリズムの導入と相まって、範囲帯域幅構成や自己診断などのインテリジェント機能を実現しています。これらの進歩により、振動や衝撃の強い環境下でも、傾斜センサーは十分な精度と信頼性のある傾斜情報を取得できるようになりました。