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NTシリーズ圧力センサーコア

NT シリーズ圧力センサー コアは、2 枚の MEMS シリコン ウエハーを使用する最先端の技術を採用し、中圧および高圧範囲での困難な測定要件および一般的な産業用アプリケーションに対応します。その製造プロセスは、統合された圧力ダイアフラムがパッケージ化された後、センサーのダイアフラム表面に PCB ボードを接着することです。続いて、2枚のMEMSシリコンウエハーをPCB基板に接続するボンディングプロセスを使用して、信号を出力できるようにします。


製品の詳細

製品タグ

応用

クラス最高の精度を備えた NT シリーズ圧力センサー コアは、さまざまな産業用アプリケーションに簡単に統合できるように、幅広いポート、コネクタ、およびアナログ電気出力を備えています。

利点

1. 17-4PH ステンレス鋼材と 2 枚の MEMS シリコンウェーハを使用。
2. 安定した性能、高い耐性、耐用年数 ≥ 1000 万回。
3.ステンレス鋼の統合構造、溶接継ぎ目なし、シリコンオイル充填なし、漏れの隠れた危険なし。
4.安全な構造、自動化されたプロセス、容易な大量生産、高感度出力、低消費電力。
5.フロントエンド圧力ポート、リアエンドスレッド、シーリング方法など、カスタマイズされた要件を満たすことができます...

テクニカル パラメータ インジケータ

要件 仕様 単位 備考
オフセット誤差 0±2 Mv(DC5V)  
スパンエラー 16±4 mV/V  
直線性 0.25 %スパン(BFSL)  
圧力ヒステリシス ±0.1 %スパン  
圧力再現性 ±0.1 %スパン  
TCO 0.03 %FS/℃  
TCS 0.05 %FS/℃  
長期安定性 0.25 %スパン(25℃)  
絶縁抵抗 100  
オーバープレッシャー 2 定格  
破裂圧力 5 定格  
人生 10 100万 10~90%FS
動作温度 -40~125  
保管温度 -40~125  
機械振動 50 g 10Hz~2kHz
機械的衝撃 100 g  
接液材料 17-4PH ステンレス鋼  
ROHS  
カスタマイズ  

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