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NTシリーズ圧力センサーコア
NT シリーズ圧力センサー コアは、2 枚の MEMS シリコン ウエハーを使用する最先端の技術を採用し、中圧および高圧範囲での困難な測定要件および一般的な産業用アプリケーションに対応します。その製造プロセスは、統合された圧力ダイアフラムがパッケージ化された後、センサーのダイアフラム表面に PCB ボードを接着することです。続いて、2枚のMEMSシリコンウエハーをPCB基板に接続するボンディングプロセスを使用して、信号を出力できるようにします。
NT シリーズ圧力センサー コアは、2 枚の MEMS シリコン ウエハーを使用する最先端の技術を採用し、中圧および高圧範囲での困難な測定要件および一般的な産業用アプリケーションに対応します。その製造プロセスは、統合された圧力ダイアフラムがパッケージ化された後、センサーのダイアフラム表面に PCB ボードを接着することです。続いて、2枚のMEMSシリコンウエハーをPCB基板に接続するボンディングプロセスを使用して、信号を出力できるようにします。